YIS 系列的高倍率檢測設備可在螢幕上呈現(xiàn)一個10mm的視場。
特別廣泛應用于磊晶處理后的滑線檢查。同時也適用于硬碟或光學拋光元件。
檢測靈敏度約相當于50倍的微分干涉像差顯微鏡。