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日本OKK大宮工業(yè)全自動(dòng)紫外線照射器FBUV系列產(chǎn)品優(yōu)勢
通過一鍵式設(shè)置變更轉(zhuǎn)盤,即使是不同尺寸的工作也能均勻照射!
概述
黑光規(guī)格的全自動(dòng)紫外線照射器是
一種自動(dòng)取出暗盒提供的晶片框架,用紫外線照射并存儲它的設(shè)備。切塊后,施加紫外線使其更容易拾取,從而降低了膠帶的粘合強(qiáng)度。
通過自動(dòng)更改設(shè)置支持8英寸和12英寸晶圓框架。
特征
每個(gè)暗盒都可以全自動(dòng)照射。
旋轉(zhuǎn)式轉(zhuǎn)盤可實(shí)現(xiàn)均勻且均勻的紫外線照射。
各種紫外線照射條件(時(shí)間設(shè)置或集成的光強(qiáng)度設(shè)置)
紫外線照度實(shí)時(shí)顯示在觸摸屏上。
由于采用了黑光規(guī)格,因此功耗低。
兼容8英寸/ 12英寸錄像帶。(可以通過觸摸面板自動(dòng)更改設(shè)置)
尺寸 | 寬770 x深1090 x高1200(毫米) |
重量 | 約250公斤 |
驅(qū)動(dòng)空氣 | 0.4-0.5Mpa 65L /分鐘 |
紫外線照度 | 9mW /cm²或更高 |
N 2 | 0.4-0.5Mpa 100L /分鐘 |
電源供應(yīng) | AC100V 50 / 60Hz 30A |